十萬級無塵車間主要采用的回風方式是單側墻下部布置回風口，當采用走廊回風時，在走廊內均勻布置回風口或在走廊端部集中設置回風口。送風方式是局部孔板頂棚送風，帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風，上側墻送風等三種送風方式。
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十萬級高潔凈無塵車間：指潔凈級別，可以理解為無塵室，但是無塵室也是需要換氣的，換進去的空氣需要經過凈化室凈化，再送到無塵室。 10萬級要求每小時換氣15-19次，完全換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。
十萬級凈化車間標準
十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃，夏季 24~26℃，波動±2℃；冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
標準一：塵粒最大允許數≥0.5微米的粒子數不超過350萬個，≥5微米的粒子數不超過2萬個。
標準二：微生物最大允許數，浮游菌數不超過500個/m；沉降菌數不超過10個/培養皿。
標準三：壓差。相同潔凈等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa（主要是為了保障空氣從潔凈區流向非潔凈區，避免氣流倒灌）。
